光谱共焦位移传感器是一种基于白光色散与共焦成像原理的非接触式光学测量仪器。其核心原理是利用特殊色散镜头将宽光谱白光分解，使不同波长的单色光聚焦于光轴不同位置，通过探测从被测物表面反射并满足共焦条件的特定波长光，解码其波长信息，从而精确计算出对应的位移或厚度值。该传感器具有纳米级高精度、高测量速度、对被测物体材料（包括透明、镜面、高吸收性材料）及表面特性不敏感等显著优势，广泛应用于半导体、3C电子、精密加工、生物医学等领域的位移、厚度、粗糙度及三维形貌的高精度在线检测。
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