非接触光学轮廓仪

非接触光学轮廓仪

非接触光学轮廓仪是一种基于白光干涉等光学原理,对物体表面进行三维形貌测量的高精度分析仪器。它通过非接触方式,实现从亚纳米到毫米量级的表面粗糙度、台阶高度、平整度及微观几何轮廓等参数的测量,广泛应用于半导体、光学加工、MEMS、材料科学及精密制造等领域。

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