场发射扫描电子显微镜SU8220是日立公司研制的高分辨率冷场发射型扫描电镜，配备Bruker FlatQuad能谱仪，晶体有效采集面积≥60mm² ，能量分辨率≤129eV ，可分析10纳米级微区元素成分。该设备亦可配备Bruker FlatQuad型平插式X射线能谱仪，其最大的信号收集立体角高达近1.2sr，具有超高速、无阴影效应的分析能力。该设备二次电子分辨率为15kV时0.8nm，1kV时1.1nm，电子枪真空度优于2×10⁻⁸，束流范围覆盖5pA~10nA。在1 kV条件下的分辨率为1.1 nm 。
SU8220采用冷场发射电子枪技术，具备高亮度与小束斑特征，在低加速电压下仍保持高分辨率，可减少样品损伤并抑制非导电样品的荷电现象。其背散射电子信号可分析多相纳米材料及介孔材料，放大倍率达20-100万倍 。该设备应用于纳米材料、半导体器件、高分子材料、生物医学及新能源等多个领域 。
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