超声扫描显微镜（SAT/SAM）是一种基于超声波脉冲回波原理的无损检测设备，属于显微成像技术领域。其通过高频超声波（适配1-110MHz探头）识别材料界面阻抗差异，生成灰度图像分析分层、裂缝、空洞等缺陷，检测过程不损伤样品。主要用于半导体、新能源、航空航天及材料科学等行业，检测对象涵盖元器件、晶圆、复合材料等内部缺陷 ，并可应用于新能源电池、IGBT功率模块、电子元器件、液冷板、金刚石复合片、陶瓷基板、半导体芯片、晶圆级封装及2.5D/3D封装等领域 。国产设备已实现技术突破，检测精度可达微米级 。
设备采用压电换能器发射超声波，支持反射/透射双模式及A/B/C扫等多种扫描形式，扫描速度最高达2000mm/s，定位精度±0.5μm，具备微米级分辨率 ，部分设备分辨率可达1.0nm 。支持A扫描、B扫描、C扫描、T扫描、区域扫描、断层扫描及批量扫描等多种模式 。部分国产设备已形成系列化产品，应用于相关工业领域 。
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