飞秒激光微加工系统是以超短脉冲激光为核心技术的精密加工设备，通过飞秒级脉冲（1飞秒=10-15秒）实现亚微米级加工精度。该系统由飞秒激光光源、功率放大模块、纳米级定位平台及控制软件组成，通过非线性吸收效应实现材料无热影响加工（即“冷加工”或“冷烧蚀”） 。
该系统支持160mm×100mm×4.8mm加工范围，配备机器视觉实时监控和多轴运动控制，可实现表面微纳结构制备和透明材料折射率调控 。其应用覆盖半导体制造（如集成电路IC制造与测试） 、航空航天部件加工、医疗器材制备等领域，特别适用于脆性材料和超硬材料的高深径比微孔加工 。该技术还可用于双光子聚合增材制造及在铌酸锂等晶体中刻写光波导 。
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