飞秒激光加工系统是一种利用飞秒级超短脉冲激光实现精密微纳加工的设备，具有加工精度高、热影响区小、材料适应性广等优势。美国Coherent公司生产的ChameleonVision-S/LegendEliteFHE-1K型飞秒激光加工系统是其中一种典型代表，于2011年6月1日启用，主要应用于材料科学领域的表面微纳结构加工及三维多光子聚合研究 。2026年，哈尔滨工业大学郑州高等研究院成功研发出国产高功率飞秒激光加工系统 。
其核心部件包含飞秒激光振荡器和放大器，振荡器脉冲宽度小于130飞秒，放大器脉宽为75飞秒，波长调节范围可达240~2600纳米 。它支持双光子聚合3D打印、光纤光栅刻写及功能性表面加工 。该系统广泛应用于航空航天、半导体、新能源等高端制造领域，实现微米级别的精密加工 。
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