图形发生器是1993年公布的电子学名词，作为制作大规模集成电路的关键设备，应用于光刻、电子束曝光等领域，是激光直写系统、扫描电镜电子束曝光系统的关键部件。
图形发生器支持伪随机比特流序列、时钟模式等多种测试模式。 其主要功能是解释图形数据，并控制电子束偏转和束闸，以实现高分辨率电子束光刻。
想要了解更多“图形发生器”的信息，请点击：图形发生器百科
图形发生器是1993年公布的电子学名词，作为制作大规模集成电路的关键设备，应用于光刻、电子束曝光等领域，是激光直写系统、扫描电镜电子束曝光系统的关键部件。
图形发生器支持伪随机比特流序列、时钟模式等多种测试模式。 其主要功能是解释图形数据，并控制电子束偏转和束闸，以实现高分辨率电子束光刻。
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